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超纯水设备可以将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。设备产水电阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm极限值。集成电路工业中超纯水设备用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水设备产出的超纯水。
依各种原水水质和用户要求的不同，超纯水设备的工艺大体可分为预处理、脱盐和精处理三步。
预处理 包括砂滤、多介质过滤、软化、加氯、调节pH、活性碳过滤、脱气等。过滤可除去 1～20微米大小的颗粒，软化和调节pH可防止反渗透膜结垢，加氯是杀菌。活性碳过滤是除去有机物和自由氯，脱气是清除溶于水中的CO2等。
脱盐 包括反渗透、离子交换。反渗透是渗透现象的逆过程,在浓溶液上加压力,使溶剂从浓溶液一侧通过半透膜向稀溶液一侧反向渗透，脱盐可达98%，并能除去99%的细菌颗粒和溶解在水中的有机物。离子交换的原理是当水通过阳离子交换树脂时，水中的阳离子被阳离子交换树脂吸附，树脂上可交换的阳离子如H离子被置换到水中，并和水中的阴离子结合成相应的无机酸，如超纯水：
这种含有无机酸的水，当下一步通过阴离子交换树脂层时，水中的阴离子被阴离子交换树脂吸附。树脂上可交换的阴离子如OH离子被置换到水中,并与水中的H离子结合成水，即超纯水
精处理 包括紫外线杀菌、终端膜过滤和超滤。紫外线消毒器紫外线杀菌是因生物体的核酸吸收紫外线光的能量而改变核酸自身结构,破坏核酸功能而使细菌死亡。杀菌强的光谱波长为2600埃。各种膜过滤能除掉直径大于 0.2微米的颗粒，但对于清除有机物则不如反渗透和超滤有效。反渗透设备超滤是把各种选择性的分子分离。在超滤过程中，水在压力下流过一个卷式或中空纤维膜棒。膜孔径在10～200埃范围内,薄膜厚度为0.1～0.5微米,附在一个中孔的纤维棒内壁上，超滤能除去细菌和0.05微米的粒子。
电子工业超纯水概述
超纯水设备广泛应用于半导体、花式棉花糖集成电路芯片及封装、液晶显示、高线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路。集成电路的集成度越高，线宽越窄，对水质的要求也越高。反渗透设备目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。电子工业超纯水设备的应用领域
1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水；
2、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水；
3、实验室和中试车间用超纯水；
4、汽车、家电表面抛光处理；
5、光电子产品；
6、其他高科技精微产品；
7、超纯材料和超纯化学试剂
8、实验室和中试车间